Insert your alternative text
Meetmethoden voor drukmeting

Capacitieve keramische druksensor

In tegenstelling tot de piëzoresistieve methode wordt niet de vervorming gemeten, maar een verandering in afstand als gevolg van de vervorming van het membraan.

Symbolen:

d - Afstand tot de condensatorplaat
p - Druk
A - Oppervlakte
εr - Vervorming van het membraan


Condensatorplaat

De bovenste condensatorplaat is de vaste plaat (Cp-elektrode), het membraan is de onderste plaat (contra-elektrode). De soldeerring verbindt het membraan met het basislichaam en bepaalt de afstand tussen de platen. Wanneer druk op het membraan wordt uitgeoefend, verandert de plaatafstand en dus ook de capaciteit.

Fig. 2 Structuur van capacitieve keramische sensor

De beweging van het membraan is slechts ca. 30 μm. Dit ontwerp is geschikt voor lage drukken tot het bereik van enkele millibar. De gevoeligheid voor overbelasting is zeer hoog, aangezien het membraan zich tot aan de contra-elektrode kan bewegen en sluiting kan maken.

JUMO dTRANS p02 CERAMIC druksensor serie (404387)